Fach | Elektrotechnik |
Kursnummer | 2175 |
Autor | Schindler, Roland |
Titel | Halbleitertechnik I |
Jahr | 1997 |
Signatur | AKMH/ELE |
Kurseinheiten | ||
Nr. | Titel | Invent.-Nr. |
01 | Halbleitertechnologie | 97 / 013237 |
02 | Grundmaterialien u. d. Charakterisierung | 97 / 013238 |
03 | Epitaxie - Verfahren | 97 / 013350 |
04 | Dotierungsverfahren | 97 / 014659 |
05 | Beschichtungs- u. Abschneideverfahren | 97 / 014660 |
06 | Lithographie | 97 / 001869 |
07 | Ätzverfahren | 98 / 001548 |
Ihr Kontakt: Christoph Spieker